三坐标测量机本体(包括测头)只是提取零件表面空间坐标点的装置，过去，人们一直认为精度高，速度快，由三坐标测量机的硬件部分决定(测 量机机械结构，控制系统，测头)，实际上，由于误差补偿技术的发展，算法及控制软件的改进，三次元测量机精度在很大程度上依赖于软件，同时，坐标数据需要软件进行评价和分析，并进行测量报告的输出。目前，三坐标测量仪软件成为决定测量机整体性能的主要因素。
　　虽然测量软件形式很多，但从功能上可以分成下面几类：
　　1、通用测量软件(基本测量软件)
　　通用三坐标测量软件的作用在于完成整个测量系统的管理，包括探针校正 ，坐标系建立与转换，几何元素测量，形位公差评价，输出文本检测报告 。
　　2、专用测量评价软件(特殊测量评价模块软件)
　　专用三坐标测量软件是指在基本测量软件平台上开发的针对某种具有特定 用途的零部件的测量与评价软件, 如FD-DMIS软件提供了齿轮、叶片、螺纹 、凸轮、压缩机转子、自由曲线等特殊测量评价模块，用它替代一些专用的计量仪器，拓展了测量机的应用领域。
　　3、统计分析软件
　　统计分析在生产过程及工艺设备的状况与能力分析研究中有着重要作用， 常用的统计分析指标有平均值、标准偏差、变化趋势(含平均值与标准偏差 变化趋势)、分散范围、概率分布等，还可以对各种因素进行相关分析等， 此类软件可以通过测量数据，对加工设备能力和性能进行统计分析。
　　4、各类驱动、补偿功能软件
　　为了增强测量机的功能，利用软件补偿的方法提高测量精度，三坐标测量机生产厂还提供了一些附加功能软件，如：误差检测软件、误差补偿软件、激光 测头驱动软件，以及驱动其它厂家测量机的驱动软件等功能软件。